一种AI服务器主板的层间对位与镭射加工方法

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一种AI服务器主板的层间对位与镭射加工方法
申请号:CN202510594871
申请日期:2025-05-09
公开号:CN120568622A
公开日期:2025-08-29
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种AI服务器主板的层间对位与镭射加工方法,包括以下步骤,产品设计步骤:设计多层主板,在镭射层的外层区域设置盲孔结构,板边设置内靶以避免干膜覆盖,并采用超大尺寸发料;加工流程步骤:依次执行压合钻靶、首次镭射钻孔、外层开窗、二次镭射钻孔及后工序流程,其中首次镭射钻孔形成内靶和对位标记,外层开窗和二次镭射钻孔基于同一对位系统对齐。本发明提供一种AI服务器主板的层间对位与镭射加工方法,通过分阶段镭射加工及统一对位系统设计,解决层间偏移问题,提升加工精度与良率。
技术关键词
对位标记 AI服务器 超大尺寸 对位系统 镭射钻孔工序 盲孔结构 主板 开窗结构 靶标 曝光设备 干膜 蚀刻 分阶段 多工位 板面 参数 校准 嵌套
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