摘要
本发明涉及一种AI服务器主板的层间对位与镭射加工方法,包括以下步骤,产品设计步骤:设计多层主板,在镭射层的外层区域设置盲孔结构,板边设置内靶以避免干膜覆盖,并采用超大尺寸发料;加工流程步骤:依次执行压合钻靶、首次镭射钻孔、外层开窗、二次镭射钻孔及后工序流程,其中首次镭射钻孔形成内靶和对位标记,外层开窗和二次镭射钻孔基于同一对位系统对齐。本发明提供一种AI服务器主板的层间对位与镭射加工方法,通过分阶段镭射加工及统一对位系统设计,解决层间偏移问题,提升加工精度与良率。
技术关键词
对位标记
AI服务器
超大尺寸
对位系统
镭射钻孔工序
盲孔结构
主板
开窗结构
靶标
曝光设备
干膜
蚀刻
分阶段
多工位
板面
参数
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