一种压阻型MEMS压力传感器的压力温度协同测量方法

本发明提供了一种压阻型MEMS压力传感器的压力温度协同测量方法，包括以下步骤：S1、通过MOS开关切换压阻型MEMS压力传感器的MEMS表头的电阻连接模式，分时获取压力与温度信号；S2、利用等效电阻Req消除压力对温度测量的影响；S3、基于预存温度‑压力特性曲线，通过数字算法实时补偿温漂误差。本发明利用压阻式MEMS传感器表头压敏电阻实现压力与温度的协同测量，并通过数字算法实现温度和压力的校准与补偿；降低压阻式温度压力一体化传感器芯片对压阻式MEMS传感器表头和信号调理电路的设计难度和工艺要求，提高温度和压力的测量精度，降低压阻式温度压力一体化传感器芯片的开发与制造成本。