一种基于钙钛矿量子点的微纳光致发光点阵的制备方法

本发明公开了一种基于钙钛矿量子点的微纳光致发光点阵制备方法，属于微纳加工技术领域。该方法通过显微光刻技术，结合紫光激光诱导量子点原位改性原理，实现高精度图案化控制。具体包括：在玻璃基底上旋涂钙钛矿量子点薄膜后，采用紫光激光器与微缩光路系统，通过两次正交曝光将掩模版图案缩微投影至薄膜表面，利用高能紫光引发量子点表面配体脱落，进而引发量子点团聚及晶体相变，使曝光区域发生相变并丧失光致发光性能，最终在未曝光区域形成微纳光致发光点阵。本发明摒弃传统光刻胶与刻蚀工艺，具有工艺简单、成本低、分辨率高等优势，适用于防伪标识、显示器件、光传感芯片及柔性电子器件的图案化制造，兼具环保性与规模化生产潜力。