一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法

本发明属于碳化硅缺陷检测技术领域，具体涉及一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法，包括以下步骤：对待测碳化硅衬底进行光致发光成像，得到小型堆垛层错缺陷的候选区域；对所述候选区域进行显微光致发光光谱二维映射扫描，得到候选区域内光谱强度映射图像；构建多模态匹配模型，并对光谱强度映射图像和光致发光成像进行空间配准，通过计算加权像素重叠率确认单个小型堆垛层错缺陷；对单个小型堆垛层错缺陷进行显微光致发光光谱二维映射扫描，确定缺陷形貌与尺寸。该方法具有高灵敏度与高分辨率的优点，适用于大尺寸碳化硅衬底缺陷的快速检测与在线质量控制，具有良好工业应用前景。