一种碳化硅外延设备温度及转速监控系统

本发明公开了一种碳化硅外延设备温度及转速监控系统，包括多波长补偿型温度监测装置和双模态融合转速监控系统。所述多波长补偿型温度监测装置由三个波长分别为1.0μm、1.6μm和2.4μm的红外探测器、基准温度校准单元和温度补偿计算控制器组成，通过多波长差异计算消除工艺气体干扰，实现±3℃的温度测量精度。所述双模态融合转速监控系统由热特征标记系统、红外热像仪和射频识别系统组成，采用卡尔曼滤波算法融合两种测量数据，实现±0.1rpm的转速控制精度。本发明解决了现有技术中温度测量精度不足和转速监测抗干扰能力差的问题，使碳化硅外延膜厚度均匀性提高25％，产品良率提升17％，为高质量碳化硅外延片的规模化生产提供了可靠保障。