一种半导体芯片取放机械手

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一种半导体芯片取放机械手
申请号:CN202510610500
申请日期:2025-05-13
公开号:CN120497184A
公开日期:2025-08-15
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体封装技术领域,且公开了一种半导体芯片取放机械手,包括气动升降杆,所述气动升降杆用于带动装置升降,包括:安装部,所述安装部固定安装在气动升降杆的输出端,所述安装部用于实现气体的运输;抓取部,所述抓取部设置在安装部内,所述安装部用于驱动装置进行抓取芯片;稳定部,所述稳定部设置在安装部内。本发明在吸风时空气会从环形槽将正负离子从出风管、矩形环箱和风罩排出,正负离子会分布在即将要抓取的芯片上,由于异性电荷相互吸引,芯片表面的静电电荷会与相反极性的离子相结合,从而去除影响芯片的静电,避免在抓取的过程中产生的静电可能会击穿芯片内部电路,导致芯片功能失效。
技术关键词
取放机械手 半导体芯片 闭合组件 气动升降杆 限位组件 正负离子 螺纹板 排风 高压发生器 环形 矩形 滑杆 离子针 半导体封装技术 离心扇叶 静电 风管 活动杆 风罩
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