多波长光学衍射超表面芯片的光场分布测试方法及装置

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多波长光学衍射超表面芯片的光场分布测试方法及装置
申请号:CN202510618054
申请日期:2025-05-14
公开号:CN120121580B
公开日期:2025-08-08
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种多波长光学衍射超表面芯片的光场分布测试方法及装置,涉及光学测试的技术领域。该光场分布测试方法包括:接收多个波段的激光;处理多个波段的激光,以得到测试所用的光场分布;加载测试所用的光场分布至超表面芯片上,以得到经过超表面芯片后的衍射光场分布;测量衍射光场分布,以得到测量位置所在焦平面的光场信息;调整测量位置,以得到光场信息与测量位置的映射关系。本申请提供的光场分布测试方法具有可以提高超表面芯片测试效率的效果。
技术关键词
分布测试方法 超表面 激光 分布测试装置 多波长 位移台 芯片测试效率 光斑尺寸 空间光调制器 驱动物镜 关系 输送模块 滤波单元 测试模块 参数 形态
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