一种基于等离子体的跨介质智能自适应激光清洗系统及方法

本发明公开了一种基于等离子体的跨介质智能自适应激光清洗系统及方法，属于激光清洗技术领域。该系统的激光控制模块动态调节输出脉冲光，通过耦合系统进入传输光纤，在光纤端面进行光束整形、出射；光纤端面出射光斑穿透介质聚焦至目标表面，聚焦光斑能量超过其击穿阈值时，产生等离子体冲击波对目标表面杂质进行清除。激光控制模块出射的激光击穿任意包围介质(气体、液体、固体)产生等离子体冲击波，实现非接触式污染物清除。该方法无需与目标直接接触，避免了对目标表面的损伤，脉冲激光清除效率高，可广泛应用于半导体、医疗、能源等领域的多介质清洗场景。