晶圆定位方法、系统、设备以及存储介质

本申请提出一种晶圆定位方法、系统、设备以及存储介质。晶圆定位方法包括：通过机械臂控制目标晶圆移动至目标位置，并获取移动过程中的传感器触发时刻对应的目标机械臂末端中心坐标集合；根据目标机械臂末端中心坐标集合、标定触发点坐标，以及晶圆中心与机械臂末端中心的偏移关系建立第一晶圆方程组；求解第一晶圆方程组，获取晶圆中心与机械臂末端中心的偏移值；根据偏移值对目标晶圆在目标位置上进行补偿。通过上述晶圆定位方法，解决了晶圆的放置位置出现误差的技术问题。