气相色谱芯片结构及其制备方法

本发明提供了一种气相色谱芯片结构及其制备方法，通过在硅基板设置贯穿所述硅基板的蛇形或螺旋形微沟道、载气通道以及检测腔体，采用键合上下盖板密封形成三明治结构的完整流路，从而实现微沟道、载气通道以及检测腔体的三维集成，进而消除分立器件的连接管路，减少死体积和冷点，缩短响应时间；通过在检测腔体设置收集电极及3D偏置电极，优化电极布局，提高离子收集效率；通过优化载气通道与微沟道的形状及宽度设计，以匹配所述微沟道和所述载气通道的气体流量，稳定等离子体，降低了检测限，实现气相物质的快速分离和检测。因此，本发明显著提升了检测灵敏度和整体稳定性，实现高效的气体检测。