一种氮化镓多晶圆片用自动研磨设备

本发明公开了一种氮化镓多晶圆片用自动研磨设备，涉及研磨设备技术领域，包括底座，所述底座的上端中间设置有研磨台，所述研磨台的上端设置有四组旋转台，四组所述旋转台的下端在研磨台的内部均设置有一组旋转轴，每组所述旋转轴的下端均设置有从动齿轮，四组所述从动齿轮的侧壁之间设置有一组主动齿轮，所述主动齿轮分别与四组从动齿轮啮合，所述主动齿轮的下端设置有一号电机，所述底座的上端四角均设置有一组支撑柱，四组所述支撑柱的上端设置有顶板，四组所述支撑柱的外壁均设置有一组滑动套。本发明的一种氮化镓多晶圆片用自动研磨设备，可同时对多片氮化镓多晶圆片进行研磨操作，提升生产效率，满足大规模生产需求。