一种体声波谐振器及其设计方法

本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种体声波谐振器及其设计方法，该方法包括步骤：根据目标有效机电耦合系数和目标谐振器频率确定多个压电层对应的钪掺杂浓度和厚度，并根据目标损耗性能确定电极材料及其对应的声阻抗；针对每个压电层，根据其对应的钪掺杂浓度和厚度计算声学参数、压电耦合参数和静态电容参数，声学参数包括声阻抗；根据相邻层结构的声阻抗计算相邻层结构的界面阻抗；将所有声学参数、所有静态电容参数、所有压电耦合参数、电极材料和所有界面阻抗输入Mason模型，以完成体声波谐振器设计；该方法能够使Mason模型综合考虑多个压电层的物理参数差异对体声波谐振器的影响以及各个层结构之间的界面效应。