摘要
本申请公开了一种旋转基座动平衡的优化方法、设备及介质,涉及半导体制造领域,方法包括:基于旋转装置中各旋转部件对应的设计参数,创建旋转装置的初始三维模型;基于预定义的工作环境参数,设定多个边界条件,通过初始三维模型,分别基于多个边界条件,执行旋转动态模拟;分别计算边界条件对应的各旋转部件的动态响应值,确定各旋转部件的不平衡点;根据动态响应值,对不平衡点对应的设计参数进行优化,得到优化三维模型;通过优化三维模型,基于多个边界条件再次执行动态模拟,验证优化结果是否满足优化需求。通过对旋转装置的仿真模拟,能够快速调整各旋转部件的设计参数并重新运行动态模拟,实现对旋转装置动平衡的优化。
技术关键词
工作环境参数
旋转基座
三维模型
非易失性计算机存储介质
计算机可执行指令
晶圆旋转装置
动态响应分析
随机采样方法
离散化方法
优化设备
幅值
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