一种旋转基座动平衡的优化方法、设备及介质

本申请公开了一种旋转基座动平衡的优化方法、设备及介质，涉及半导体制造领域，方法包括：基于旋转装置中各旋转部件对应的设计参数，创建旋转装置的初始三维模型；基于预定义的工作环境参数，设定多个边界条件，通过初始三维模型，分别基于多个边界条件，执行旋转动态模拟；分别计算边界条件对应的各旋转部件的动态响应值，确定各旋转部件的不平衡点；根据动态响应值，对不平衡点对应的设计参数进行优化，得到优化三维模型；通过优化三维模型，基于多个边界条件再次执行动态模拟，验证优化结果是否满足优化需求。通过对旋转装置的仿真模拟，能够快速调整各旋转部件的设计参数并重新运行动态模拟，实现对旋转装置动平衡的优化。