一种低感低热阻耐高温SiC功率半导体器件封装架构

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一种低感低热阻耐高温SiC功率半导体器件封装架构
申请号:CN202510636258
申请日期:2025-05-16
公开号:CN120497215A
公开日期:2025-08-15
类型:发明专利
摘要
本发明属于半导体器件封装技术领域,公开了一种低感低热阻耐高温SiC功率半导体器件封装架构,包括:上基板、下基板、去耦电容、陶瓷气密框、键合线/金属箔、功率半导体芯片、垫块、高温灌封材料;本发明利用了双面冷却模块具有上下两块基板的结构特点,采用特殊设计的陶瓷气密框,在上下基板之间构建了一个小型的气密系统。这一封装架构能够在不增加双面冷却功率模块的内外散热路径长度及换流回路路径长度,不影响模块低热阻低寄生电感性能优势的前提下,为模块核心部件提供气密密封防护。
技术关键词
SiC功率半导体器件 功率半导体芯片 金属化 金刚石 去耦电容 热阻 DBC工艺 导电焊盘 双面冷却功率模块 半导体器件封装技术 金属密封环 氧化铝薄膜 金属箔 特种陶瓷 垫块 氮化铝 基板材料
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