一种双轨固晶设备和固晶方法

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一种双轨固晶设备和固晶方法
申请号:CN202510639702
申请日期:2025-05-19
公开号:CN120184061B
公开日期:2025-08-08
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体贴装设备技术领域,特别涉及一种双轨固晶设备和固晶方法;其中双轨固晶设备,包括承载台,承载台上设有贴装区域、蘸胶区域和上料区域,蘸胶区域和上料区域相邻设置且邻接于贴装区域的同一侧;还包括设于承载台上的移动固晶台组件和移动中转台组件,移动固晶台组件包括第一轨道、第二轨道、第一固晶台和第二固晶台,第一固晶台与第一轨道滑动连接,第二固晶台与第二轨道滑动连接,第一轨道和第二轨道分别从蘸胶区域延伸至贴装区域。通过引入交替工作的双固晶台设计,使得每次仅对基板的部分区域进行蘸胶,并立即对该部分区域进行芯片贴装,从而保证了贴装的质量和效率。
技术关键词
固晶设备 机械臂组件 轨道 物料台 转台组件 龙门架组件 上料 固晶方法 模块 芯片 基板 贴装设备 承载台 定位点 横梁 导轨 半导体 精度
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