一种固晶设备和固晶方法

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一种固晶设备和固晶方法
申请号:CN202510639703
申请日期:2025-05-19
公开号:CN120164829B
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体固晶设备技术领域,特别涉及一种固晶设备和固晶方法。本发明提供的固晶设备,轨道模块包括第一轨道和第二轨道,第二轨道沿上料模块和下料模块连线方向设置,第一轨道设置于上料模块和第二轨道之间,并沿第一轨道宽度方向向下延伸;点胶模块包括第一点胶机构和第二点胶机构,第一点胶机构设置于第一轨道远离第二轨道一端;供晶模块和中转台模块位于第二轨道靠近第一点胶机构的侧面,并与点胶模块对应;贴装绑头模块设置于第二轨道上方,贴装绑头模块上设置有第二视觉检测器和第二点胶机构。该固晶设备可以实现先点胶后识别,和先识别后点胶两种工作模式,适应不同类型芯片的贴装,具有更高的适用性。
技术关键词
胶机构 视觉检测器 轨道 固晶设备 点胶模块 下料模块 基板 转台 安装支架 芯片 上料 控制模块 固晶方法 工作台 模式 物料台 载板
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