摘要
本发明涉及半导体固晶设备技术领域,特别涉及一种固晶设备和固晶方法。本发明提供的固晶设备,轨道模块包括第一轨道和第二轨道,第二轨道沿上料模块和下料模块连线方向设置,第一轨道设置于上料模块和第二轨道之间,并沿第一轨道宽度方向向下延伸;点胶模块包括第一点胶机构和第二点胶机构,第一点胶机构设置于第一轨道远离第二轨道一端;供晶模块和中转台模块位于第二轨道靠近第一点胶机构的侧面,并与点胶模块对应;贴装绑头模块设置于第二轨道上方,贴装绑头模块上设置有第二视觉检测器和第二点胶机构。该固晶设备可以实现先点胶后识别,和先识别后点胶两种工作模式,适应不同类型芯片的贴装,具有更高的适用性。
技术关键词
胶机构
视觉检测器
轨道
固晶设备
点胶模块
下料模块
基板
转台
安装支架
芯片
上料
控制模块
固晶方法
工作台
模式
物料台
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