一种基于石墨烯的光电集成芯片及其制备方法

一种基于石墨烯的光电集成芯片及其制备方法，所述方法步骤如下：在衬底上制备光波导；将石墨烯转移至波导上方并进行区域隔离，形成电光调制器下层有源区和光电探测器沟道区，并做好电光调制器的下层有源区接触电极和光电探测器的沟道两端接触电极；覆盖电介质层作为上下两层石墨烯的隔离；在电介质层上方转移石墨烯，区域隔离后形成电光调制器上层有源区并做好上层有源区电极。本发明能够实现石墨烯电光调制器、光电探测器的一体化设计和制作，规避了传统混合光电集成技术中不同材料体系间的工艺兼容性以及热稳定性问题，并且工艺易于控制、成本较低、具备规模化潜力，能够为单片光电集成技术提供有效的技术方案。