摘要
本发明提供了一种车载CIS芯片的封装结构,既解决了产品翘曲和应力的问题,又降低了封装成本。其包括:玻璃;围堰结构;以及晶圆,其下表面排布有芯片;所述围堰结构排布于所述玻璃的上表面、围堰区域对应于晶圆的下表面的芯片设置,所述晶圆的下表面和所述围堰结构的上凸部分键合,所述芯片对应布置于围堰结构的围堰区域内,所述晶圆的上表面通过减薄和硅通孔蚀刻形成设定形状,所述晶圆的设定形状的硅面制备有二氧化硅层,所述二氧化硅层涂布有柔性UV胶层,所述硅通孔的底部的柔性UV胶层被去除露出PAD,在晶圆的硅面的外凸区域制备RDL、且使得RDL和硅通孔底部的PAD相连,所述晶圆的硅面覆盖阻焊层后,通过曝光、显影方式将表面的焊盘打开并植球。
技术关键词
围堰结构
CIS芯片
封装结构
二氧化硅
封装方法
光刻掩模版
负性光刻胶
光刻制程
显影方式
玻璃
双介电层
UV胶
通孔制程
涂布
柔性
绝缘结构