一种基于熵增原理的复杂超声振动抛光路径规划方法

本发明涉及光学元件表面抛光方法，具体涉及一种基于熵增原理的复杂超声振动抛光路径规划方法，解决了现有超声振动辅助抛光方法无法有效解决中频误差积累的技术问题。本发明通过在规则抛光路径上叠加复杂超声振动，得到耦合抛光路径，并基于熵增原理选择最优的耦合抛光路径；通过对比不同耦合抛光路径的信息熵，选择信息熵最大的耦合抛光路径作为复杂超声振动抛光路径，得到的复杂超声振动抛光路径具有较高随机性，可进一步优化抛光效果，提高抛光表面质量，特别是在抑制中频误差积累方面具有明显优势。