半导体CP测试环境中ATE与探针台隔离系统及方法

本发明提供了一种半导体CP测试环境中ATE与探针台隔离系统及方法，通过隔离墙分隔CP洁净区与FT洁净区，结合柔性线缆连接与分区智能净化控制，显著提升了测试环境的洁净度与稳定性，并降低了建设成本，隔音墙体与防静电隔离帘的组合设计有效阻隔了ATE设备的噪音与静电干扰，同时柔性线缆及移动支架上的接线器降低了设备震动对信号传输的影响；空气过滤设备通过深度强化学习算法实时调节风门开度与风机功率，能够根据传感器反馈的PM2.5浓度、流量等参数动态优化两区域的净化效率，在降低能耗的同时确保压差平衡；此外，净化主机的分风口设计配合控制器实现了CP与FT洁净区的独立闭环控制，进一步避免了交叉污染。