探针台

本发明提供一种探针台，在晶圆卡盘从测定部的下表面分离并被下坠限制机构临时保持后，该探针台也能够将晶圆卡盘在适当的位置上交接到对准装置。探针台包括测定部、晶圆卡盘、对准装置和下坠限制机构。晶圆卡盘在上表面上保持晶圆，并被保持于测定部的下表面上。下坠限制机构限制晶圆卡盘从测定部的下表面下坠。下坠限制机构具备多个下坠限制卡爪和位置控制装置。位置控制装置能够将多个下坠限制卡爪的位置切换为后退位置、中间位置和前进位置，其中后退位置是允许晶圆卡盘通过下坠限制卡爪之间的位置，中间位置是在晶圆卡盘的下方承接从测定部的下表面分离的晶圆卡盘的位置，前进位置是对晶圆卡盘进行定心的位置。