多工件批量电镀过程中的差异化精准电流分配控制方法

本发明公开了一种多工件批量电镀过程中的差异化精准电流分配控制方法，包括：获取多工件特征数据并预处理；进行工件差异性特征分析与分组；进行电解槽电场分布建模与分析；进行镀层生长动态监测与预测；生成差异化电流分配策略。本发明采用多频差分电阻谱采集系统实现镀层生长实时监测，应用融合空间约束的改进独立成分分析算法进行工件群组电阻谱解耦，并通过电场畸变区域的自适应波形库实现微区精准电流调制，解决了多工件电镀中镀层动态特性监测困难和特征相似工件差异化控制不足的问题，提高了镀层质量一致性。