基于纵向渐变光栅结构的导模共振折射率检测装置及方法

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基于纵向渐变光栅结构的导模共振折射率检测装置及方法
申请号:CN202510658871
申请日期:2025-05-21
公开号:CN120539109A
公开日期:2025-08-26
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于纵向渐变光栅结构的导模共振折射率检测装置及方法,属于光学传感与图像化光谱检测技术领域,包括依次连接的光源、光隔离器、偏振控制器、准直扩束镜,导模共振传感芯片、图像探测器以及信号处理单元;导模共振传感芯片为透射式结构,其顶部设有周期一致但纵向渐变的条形纳米结构,其下方设有图像探测器用于接收穿过导模共振传感芯片后的透射光信号,产生透射光图像并将透射光图像传送至信号处理单元;信号处理单元用于对透射光图像进行分析,并依据结构映射模型反演待测介质的折射率。本发明通过在导模共振芯片中引入纵向的结构渐变特性,实现对单色光共振响应位置的空间分布控制,最终实现无需分光器的图像化折射率感知。
技术关键词
折射率检测装置 渐变光栅 图像探测器 信号处理单元 传感芯片 透射光 纳米结构 导模 准直扩束镜 偏振控制器 基底层 光隔离器 折射率检测方法 折射率层 位置映射关系 光谱检测技术 图像处理软件 周期 像素点
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