基于数据分析的光源控制方法及系统

本发明提供了一种基于数据分析的光源控制方法及系统，该方法包括：通过光谱分析仪阵列和光纤探头对LED光源进行多通道光谱特性采集，获取光谱响应曲线和干涉图像并进行多尺度分析处理，生成多维数据张量；对所述多维数据张量进行干涉模式与缺陷信号解耦分析，得到干涉模式特征和干涉‑缺陷判别结果；采用预设的核密度估计和图神经网络根据所述干涉模式特征和干涉‑缺陷判别结果对晶圆表面的干涉敏感度进行空间分布分析，生成干涉敏感度分布矩阵；根据所述干涉敏感度分布矩阵，精确调制LED光源的电流波形和光束相位分布，实现对LED光源的智能控制，有效消除多模式干涉对半导体检测的影响，提高纳米级缺陷检测的准确性。