晶圆缺陷数据集的构建方法、识别系统的训练方法及应用

本发明属于晶圆缺陷检测技术领域，尤其涉及晶圆缺陷数据集的构建方法、识别系统的训练方法及应用。晶圆缺陷数据集的构建方法，包括以下内容：通过贝塞尔曲线生成n张理想划痕图像，一张理想划痕图像中包含若干条理想划痕；再对各理想划痕图像进行断痕处理和背景加噪处理后形成对应的仿真划痕图像；一张仿真划痕图像与对应的理想划痕图像绑定后作为晶圆缺陷数据集中的一条数据，晶圆缺陷数据集中包含n条数据。本发明能够高效且准确地构建针对划痕检测的晶圆缺陷数据集。