激光芯片及其制备方法与激光设备

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激光芯片及其制备方法与激光设备
申请号:CN202510668165
申请日期:2025-05-23
公开号:CN120497757A
公开日期:2025-08-15
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种激光芯片及其制备方法与激光设备。激光芯片的制备方法包括:提供巴条,所述巴条包括在第一方向上层叠设置的衬底和外延层,所述巴条具有沿第二方向依次交替设置的芯片区域和切割区域,所述第一方向和所述第二方向相垂直;在所述切割区域设置沟槽,所述沟槽在所述第一方向上贯穿至少部分的所述外延层;在所述沟槽处对所述巴条进行解理,以将多个所述芯片区域分离形成多个激光芯片。上述激光芯片的制备方法,能够降低外延层上产生腔纹的风险,提升激光芯片的性能稳定性和结构可靠性。
技术关键词
芯片 沟槽 激光设备 外延 接触层 包覆层 衬底 刻蚀工艺 层叠 波导 电极 台阶 风险
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