摘要
本申请涉及一种激光芯片及其制备方法与激光设备。激光芯片的制备方法包括:提供巴条,所述巴条包括在第一方向上层叠设置的衬底和外延层,所述巴条具有沿第二方向依次交替设置的芯片区域和切割区域,所述第一方向和所述第二方向相垂直;在所述切割区域设置沟槽,所述沟槽在所述第一方向上贯穿至少部分的所述外延层;在所述沟槽处对所述巴条进行解理,以将多个所述芯片区域分离形成多个激光芯片。上述激光芯片的制备方法,能够降低外延层上产生腔纹的风险,提升激光芯片的性能稳定性和结构可靠性。
技术关键词
芯片
沟槽
激光设备
外延
接触层
包覆层
衬底
刻蚀工艺
层叠
波导
电极
台阶
风险
系统为您推荐了相关专利信息
柔性线路板
柔性显示屏
LED器件
LED模组
支架
接口模块
瞬态抑制二极管
受电模块
通信设备
电路保护模块
U型GaN层
缓冲结构
蓝宝石衬底表面
LED芯片
LED外延片
音频放大器电路
串扰噪音
音频处理单元
信号切换开关
音频放大器芯片