一种光学调制器芯片加工用刻蚀装置

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一种光学调制器芯片加工用刻蚀装置
申请号:CN202510673896
申请日期:2025-05-23
公开号:CN120473412A
公开日期:2025-08-12
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种光学调制器芯片加工用刻蚀装置,属于芯片加工领域,包括刻蚀机本体,所述刻蚀机本体内表面顶部固定安装有输送机,所述输送机左侧设置有容纳仓,所述容纳仓内表面滑动连接有转盘,所述转盘下方装配有用于驱动转盘转动的驱动件,所述转盘上方装配有用于推出芯片的推动件,所述容纳仓下方装配有用于排出废水的排水件,所述输送机外表面装配有用于冲洗和烘干芯片的进水组件。本申请通过设置驱动件来驱动转盘在容纳仓内转动来对芯片进行依次输送,通过降温组件对进水组件的热水降温后喷洒在转盘内的芯片上从而进行冲洗,通过进水组件的热水所产生的热量来对清洗后芯片进行烘干,具有便于清洗和烘干的作用。
技术关键词
光学调制器 刻蚀装置 进水组件 芯片 输送机 降温组件 擦拭组件 驱动转盘 排水件 海绵刷 旋转组件 冷却管 支撑杆 液压 推动件 螺旋管 水槽 滑动座 旋转轴 承载盘
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