一种基于十字形阵列设计的多模态触觉传感器

本发明公开了一种基于十字形阵列设计的多模态触觉传感器，传感器具有5个感知单元，以十字形阵列形式排列，每个感知单元均由应力加载层、压电感知层、隔离层、压阻感知层、电极层组成。阵列式的分布增加了传感器可感知区域面积，提高了传感器空间分辨率。其中，压阻感知层和压电感知层分别模拟人体皮肤中的SA感受器感知低频压力和FA感受器感知动态振动的特性。压阻感知单元和电极单元形成平面电阻结构，使传感器对加载力方向敏感，这种设计可用于表征加载力的大小和方向，从而实现三维静态力检测。压电感知单元则是利用PVDF压电薄膜的正压电效应来实现微小振动检测，用于表征与物体接触时的高频振动。