一种基于去嵌入的光电子芯片带宽测试方法及系统

本发明提出了一种基于去嵌入的光电子芯片带宽测试方法和系统，采用双探针频响特性分离技术，首先建立包含射频探针和光探针频响矩阵的数学模型，通过多级校准流程分别提取探针特性参数，然后采用矩阵向量运算从原始测试数据中扣除探针影响，保留芯片响应，最后实现精准带宽计算，通过对射频探针去嵌入和光探针去嵌入，消除了阻抗失配对测试结果的影响，提高了频响曲线的线性度，使测试结果更加平滑，噪声降低，更真实反映芯片性能，同时改善了测试曲线的平滑性和重复性，为高速光电器件的研发和质量控制提供了可靠的测试手段。