结构电子叠层成像方法、装置、设备、介质及程序产品

本申请提供了一种结构电子叠层成像方法、装置、设备、介质及程序产品。在本申请中，在电子显微镜的成像环境下，通过结构电子束对目标样品进行扫描，获得包含目标样品的完整散射信息的四维衍射数据；通过叠层成像算法对四维衍射数据进行重建处理，得到目标样品在实空间的复振幅图像。本申请将结构电子束应用于叠层成像中，避免了传统高斯探针的衍射图样所携带的样品信息有限的缺陷，可解决现有技术中信息获取能力有限的问题；此外，本申请采用结构电子束而不是单一的高斯电子束，而结构电子束可以使用与材料特性对应的结构电子束，因此可以根据样品特性进行量身定制的探针设计，进而解决现有技术中探针与样品匹配困难的问题。