摘要
本申请提供一种玻璃芯板、芯片封装结构及玻璃芯板的制备方法。玻璃芯板包括玻璃基板、粘连层及导电走线,其中,玻璃基板包括贯穿该玻璃基板的基板通孔。粘连层位于玻璃基板的表面,或者,粘连层位于基板通孔的内壁,或者,粘连层位于玻璃基板的表面和基板通孔的内壁。导电走线填充在基板通孔内,导电走线将玻璃基板的相对两侧连通。如此,上述结构中位于玻璃基板表面和/或所述基板通孔的内壁的粘连层能够提高金属层(如,种子金属层、走线层或缓冲层)与玻璃基板之间的结合力,进而保证玻璃芯板的产品质量。
技术关键词
玻璃基板
芯片封装结构
缓冲层
通孔
芯板
导电
光敏材料
无机材料
结合力
非金属
粗糙度
种子
激光
包裹
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