一种固定夹具及用于碳化硅坩埚的夹持方法

本发明公开了一种固定夹具及用于碳化硅坩埚的夹持方法，涉及坩埚夹持技术领域。本发明包括助力机械臂、夹持组件以及检测清洁组件，当对坩埚进行夹持前，转动安装板移动，使转动安装板一侧的清洁刷以及支撑圆杆与弹性夹持板接触，弹性夹持板向靠近坩埚方向移动带动转动安装板移动，使转动安装板另一侧的清洁刷以及支撑圆杆与坩埚表面接触，弹性夹持板停止移动，此时弹性夹持板呈弯曲的弧形板，转动安装板沿弹性夹持板侧面方向移动，转动安装板带动清洁刷移动，转动安装板两侧的清洁刷分别对弹性夹持板侧面以及坩埚将与弹性夹持板接触的部分表面进行清理，防止弹性夹持板侧面以及坩埚表面附着杂质颗粒，夹持时划伤坩埚。