一种晶圆洗边宽度的检测方法以及检测系统

本发明公开了一种晶圆洗边宽度的检测方法以及检测系统，包括：检测系统通过摄像装置同时获取晶圆边缘不同区域的若干张图像；检测系统获取每张图像的第一线段和第二线段，然后计算第一线段与第二线段之间的线段距离；检测系统将每张图像的线段距离和设定宽度进行比较，然后根据比较结果确定晶圆的洗边宽度是否合格。本申请的技术方案通过摄像装置同时获取晶圆边缘不同区域的若干张图像，突破了单点测量的局限，能够覆盖晶圆边缘的多个区域，从而清晰掌握晶圆边缘不同部位的洗边情况，既可以判断边缘是否完成洗边，也能知晓晶圆边缘是洗大还是洗小，有效解决了现有技术无法检测晶圆大小边缘问题的缺陷，极大提升了检测的全面性。