摘要
本发明提供了一种软硬件结合的衍射图案投影中心校正方法及系统,方法包括扫描步骤:沿固定轴线移动探测器,扫描获取多组相关联的实验衍射图案;校准步骤:根据所述多组相关联的实验衍射图案的几何关系,选取晶向角和PC坐标的配准准则,使用高斯‑牛顿迭代算法优化目标函数以配准模拟衍射图案,校准PC值。本发明计算结果的系统误差和偶然误差都显著优于纯软件和纯硬件类校正方法,且灵活度较好,可纠正由于设备误差或者样品漂移等因素导致的图案中心潜在偏差,以确保获取的衍射图像能够准确地反映样品的晶体学信息,提高了衍射技术分析的精确度和可靠性。
技术关键词
校正方法
牛顿迭代算法
校正系统
移动探测器
扫描样品表面
图案配准
衍射花样
校准
扫描模块
坐标
设备误差
轨迹
系统误差
关系
粒子
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轨道
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