一种微发光元件的巨量检测装置及检测方法

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一种微发光元件的巨量检测装置及检测方法
申请号:CN202510683755
申请日期:2025-05-26
公开号:CN120527254A
公开日期:2025-08-22
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种微发光元件的巨量检测装置及检测方法,巨量检测装置包括固定芯片的承载单元;芯片的第一基板一侧设置多微发光元件;第一图像采集分部和第二图像采集分部位于芯片的两侧,第一图像采集分部靠近微发光元件;第二基板位于第一图像采集分部靠近微发光元件的一侧,并且与第一图像采集分部连接;电信号调节单元分别与第一基板和第二基板电连接,并且为第一基板和第二基板提供交流差分电信号;至少分部第一介质位于第二基板和微发光元件之间;其中,第一介质的平均电负性大于3.04。通过在第一基板和第二基板之间增加电负性较强的第一介质,可以降低第一基板和第二基板之间被击穿的风险,保证巨量检测装置的准确性和稳定性。
技术关键词
微发光元件 检测箱体 基板 承载单元 调节单元 介质 电信号 图像 过渡仓 风机过滤器单元 芯片 六氟化硫气体 衬底 阀门 液体 真空泵 阵列
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