晶圆传送机构

本申请提出一种晶圆传送机构，属于晶圆传送技术领域。晶圆传送机构包括机械臂、校准组件及第一移动组件。其中，机械臂用于取放晶圆，校准组件用于对晶圆进行位置校准。第一移动组件与机械臂和校准组件连接，且第一移动组件能够带动机械臂和校准组件同步移动，从而，在对晶圆的传送对准过程中，可减少机械臂取出晶圆后再移动到校准组件的位置(以将晶圆传给校准组件校准)的步骤，可提高传送效率。