晶圆传送机构

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晶圆传送机构
申请号:CN202510690140
申请日期:2025-05-26
公开号:CN120527284A
公开日期:2025-08-22
类型:发明专利
摘要
本申请提出一种晶圆传送机构,属于晶圆传送技术领域。晶圆传送机构包括机械臂、校准组件及第一移动组件。其中,机械臂用于取放晶圆,校准组件用于对晶圆进行位置校准。第一移动组件与机械臂和校准组件连接,且第一移动组件能够带动机械臂和校准组件同步移动,从而,在对晶圆的传送对准过程中,可减少机械臂取出晶圆后再移动到校准组件的位置(以将晶圆传给校准组件校准)的步骤,可提高传送效率。
技术关键词
校准器 移动组件 晶圆传送机构 机械臂机构 位置校准 升降机构 角度检测器 升降驱动装置 转台 夹持器 滑移机构 减震结构 控制器 减震筒 载体
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