一种转接板微透镜集成的CPO光纤垂直耦合架构及工艺

本发明涉及光电共封装技术领域，特别涉及一种转接板微透镜集成的CPO光纤垂直耦合架构及工艺。本发明创新的利用滴胶张力原理在转接板上集成微透镜阵列，且胶水透镜支持不同曲率半径、不同倾斜角度的倾斜光栅耦合，具有更高的制备灵活性。相对于传统的透镜耦合方案，本发明不需要额外安装透镜，具有成本低、结构紧凑、机械稳定性高以及应力分布更为合理的优势，且具备高通道密度的特性；微透镜采用液体张力形成透镜面，透镜面更加光滑，透射效率更高；并且由于集成在转接板上，使得转接板同时具备光互连和电互连功能，能够显著提升光电共封装模块的光电传输性能。