晶体质量检测方法和系统

本发明提供了晶体质量检测方法和系统，包括：通过样品输运台定位晶圆样品至物镜下方，使物镜的焦点在所述晶圆样品的中心；当物镜相对晶圆样品在半径范围内线性移动时，进行显微成像，得到图像；当图像的强度波动大于设定阈值时，进行拉曼成像得到三维高光谱；将三维高光谱中的每条拉曼光谱进行处理，得到谱峰曲线、峰宽曲线和峰位曲线；当谱峰曲线、峰宽曲线和峰位曲线拟合后一阶导数趋向零时，纵向扫描结束；将三维高光谱生成的谱峰强度、峰宽和峰位转化为特征信息，并计算晶圆品质系数；根据晶圆品质系数确定晶圆样品的质量；可以对晶体(包括晶圆样品)进行不同深度的测量；实现常温常压下的无损、快速、准确的质量分析。