一种用于高温环境的电涡流传感器及其校准方法

本发明属于电涡流传感器校准技术领域，公开了一种用于高温环境的电涡流传感器及其校准方法；方法包括：同步采集电涡流传感器的工作电流、电压、表面位置、温度、标准位移信号及原始输出电压，构建氧化层等效电路模型并优化获得厚度分布；再搭建厚度增长模型，建立相关关系模型计算时变阻抗；接着计算灵敏度系数函数，设计分段校准函数获得校准参数集；最后结合校准参数集对原始输出电压动态补偿，获得校准后的位移。本发明采集温度场、标准位移信号和原始电压信号，建立温度‑氧化层‑阻抗的三维动态模型，实时补偿氧化层生长和温度梯度的非线性影响。