图像传感器的制造方法及图像传感器

本发明提供一种图像传感器的制造方法及图像传感器，图像传感器的制造方法，包括如下步骤：提供光电传感装置，所述光电传感装置包括光电芯片、用于承载光电芯片的基板以及电性连接于光电芯片的焊盘；于基板的入光侧沉积纳米结构层，对纳米结构层进行第一次刻蚀后，以使纳米结构层至少覆盖于光电芯片的入光侧；对纳米结构层进行第二次刻蚀后，在光电芯片的入光侧形成超表面；通过在基板的入光侧沉积纳米结构层，并对纳米结构层进行两次刻蚀，以完成超表面的制作，从而无需在由光刻胶层所形成的窗口内进行纳米结构层的沉积，解除沉积的工艺温度所受到的限制，避免纳米结构层的材料选择受到限制。