薄膜真空计优化方法、装置、电子设备及存储介质

本发明提供了一种薄膜真空计优化方法、装置、电子设备及存储介质，涉及真空计结构优化技术领域。通过仿真获取不同结构参数下的多个电容数据和多个压力数据，并计算不同结构参数对应的灵敏度和线性度，根据各个灵敏度和各个线性度获取最优结构参数，最后根据最优结构参数输出对应的仿真模型以得到最终模型，从而保证选取的最终模型在灵敏度和线性度之间达到最佳平衡。