垂直腔面发射激光器及其制备方法、光模块和光芯片

本申请提供了一种垂直腔面发射激光器及其制备方法、光模块和光芯片，垂直腔面发射激光器包括：衬底；外延结构，外延结构包括依次设于衬底上的第一型反射镜层、有源层、光电限制层和第二型反射镜层；光电限制层用于限定垂直腔面发射激光器的发光孔径，第一型反射镜层和第二型反射镜层的掺杂类型不同；欧姆接触结构，设于第一型反射镜层和/或第二型反射镜层上，欧姆接触结构用于引入泵浦源至第一型反射镜层和/或第二型反射镜层；其中，欧姆接触结构在光电限制层上的正投影的内轮廓上的各点与发光孔径轮廓之间的距离不完全相同，以使垂直腔面发射激光器在发光孔径的不同点位的激光激射量不同。