摘要
本发明属于精准医学和新型诊断技术领域,具体涉及一种用于干眼诊断的多目标泪液标志物高精度全定量同步检测芯片;其中基两上设有感知电极,其两侧设有泪液入口和泪液出口,且泪液入口与各个MEMS谐振锤结构的进液端连通,泪液出口与各个MEMS谐振锤结构的出液端连通;本发明通过采用高稳定性、高灵敏度的MEMS谐振原理替代场效应晶体管敏感原理,并辅以微流控技术和生物修饰技术,实现~ng/ml浓度的干眼炎症因子的定量检测,大幅提升传感精度和鲁棒性,解决现有快速诊断试剂盒无法定量分析的难题。进一步结合原创的SU‑8微流道加工工艺,开发四通道MEMS谐振器结构,实现三种代表性干眼炎症因子MMP‑9、IL‑6、LF的同步定量检测,完成干眼症状的精确评估。
技术关键词
MEMS谐振
锤结构
干眼诊断
压敏电阻
热电阻
标志物
长方形
引线
检测芯片
光刻掩膜
微流道
二氧化硅钝化层
框架
抗体
模版
基底
光刻胶
支撑梁
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