一种垂直梳齿的MEMS微镜结构及其制造方法

本申请涉及MEMS微镜技术领域。具体涉及一种垂直梳齿的MEMS微镜结构及其制造方法。微镜结构包括：支撑层和微镜层，支撑层包括固定梳齿电极，微镜层包括微镜平台和可动梳齿电极；固定梳齿电极与可动梳齿电极错位排布；键合层，位于支撑层和微镜层之间，连接支撑层和微镜层；连接金属层，在厚度方向上贯穿键合层，连接金属层连接支撑层和微镜层，且与可动梳齿电极电性导通；还包括固定块和连接块，固定梳齿电极适于通过与自身连接的固定块向支撑层下方引出信号；可动梳齿电极适于经连接金属层通过连接块向支撑层下方引出信号。本申请提供的MEMS微镜结构利于与其他器件结构小型化一体封装，工艺简单产品一致性好，适于批量生产。