一种集成检测装置

本申请公开了一种集成检测装置，涉及半导体芯片检测的技术领域。一种集成检测装置包括竖向驱动件，竖向驱动件连接有架体，架体上安装有驱转机构，驱转机构连接有圆柱凸轮；圆柱凸轮包括圆柱外壁上的引导凹槽，引导凹槽内插设有两个引导柱且引导柱与引导凹槽之间为滑动连接；两个引导柱分别为第一引导柱和第二引导柱，第一引导柱连接有第一联动机构，第二引导柱连接有第二联动机构，第一联动机构连接有射频探针卡，第二联动机构连接有直流探针卡；架体上安装有连接于第一联动机构和第二联动机构的调位机构，调位机构能够调整第一引导柱和第二引导柱的初始位置。本申请能够满足两种测试既能轮流进行也能同步进行的要求。