基于图像识别的晶圆包装质量识别方法及系统

本申请涉及图像识别技术领域，公开了一种基于图像识别的晶圆包装质量识别方法及系统，通过多光谱成像单元采集所述晶圆包装的多光谱图像并进行融合处理得到多光谱融合图像，通过RGB‑D单元采集所述晶圆包装的RGB彩色图像和晶圆包装的深度图像，通过三维重建算法进行融合生成所述晶圆包装的三维图像，再从预处理后的所述三维图像中提取三维点云数据并重建生成三维点云模型，通过所述混合注意力生成网络对所述三维点云模型中的缺陷特征进行检测并输出所述缺陷特征的信息，本申请不仅能够对检测结果进行详细解释，还能输出针对性的缺陷特征分析与处理建议，实现了对晶圆包装质量全面评估的要求，提高了包装质量评估的高效率和准确性。