摘要
本发明属于光电探测技术领域,公开了一种半金属MoTe2改性方法及基于半金属MoTe2的光电探测器,将半金属MoTe2晶体平铺在3M胶带上并按压;将3M胶带反复撕开‑粘贴4‑6次;将薄膜粘贴在载玻片;将3M胶带对准薄膜并粘贴;快速撕下3M胶带;将薄膜粘贴在硅片上并加热;缓慢抬起薄膜;266nm调Q激光辐照基底上的MoTe2纳米薄晶体,获得改性的半金属MoTe2;在二氧化硅基底上制备镍/金电极,获得基底Ⅰ;将改性的MoTe2纳米薄晶体和基底Ⅰ结合,获得光电探测器。本发明的制备工艺简单,且光电性能提升显著,制备光电探测器在宽光谱范围内可实现高的响应度和灵敏度。
技术关键词
光电探测器
改性方法
金属电极
晶体
PDMS薄膜
二氧化硅基底
3M胶带
纳米
真空吸附功能
光电探测技术
机械臂
对准薄膜
金相显微镜
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加热
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