摘要
本发明属于超声器械技术领域,提供了一种面阵换能器及制备方法。本发明的面阵换能器包括压电晶片、异向导电背衬和集成电路芯片;异向导电背衬设置于压电晶片之下,异向导电背衬包括绝缘基板和导电体,导电体均匀分布在绝缘基板中;导电体为柱状且竖向设置,导电体的顶部和底部贯穿所述绝缘基板设置;集成电路芯片设置于异向导电背衬之下。本发明提供的面阵换能器,压电晶片和集成电路芯片分别设置于异向导电背衬的上表面和下表面,异向导电背衬作为声学吸声层和电学互联层的复合体,突破了传统分层结构,压电晶片和异向导电背衬直接相连,可以起到较好的吸声作用。
技术关键词
导电背衬
压电晶片
导电体
集成电路芯片
换能器
背衬结构
绝缘
超声器械技术
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