一种基于两段相移λ/2顶部金属光栅的DFB激光器

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一种基于两段相移λ/2顶部金属光栅的DFB激光器
申请号:CN202510720959
申请日期:2025-05-30
公开号:CN120657553A
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体激光器技术领域,尤其是一种基于两段相移λ/2顶部金属光栅的DFB激光器,包括:增益芯片;光波导;金属BRAGG反射光栅,设置在光波导的顶部,且金属BRAGG反射光栅包括金属BRAGG反射光栅一和金属BRAGG反射光栅二,金属BRAGG反射光栅一与金属BRAGG反射光栅二之间设置有相位λ/2移动拓宽。本发明采用两段光栅有效提高了SMSR比,同时顶部金属光栅取代传统夹层式半导体光栅,无需进行二次外延,简化了工艺流程,简化的工艺减少了制作过程中的步骤和对高精度设备的依赖,降低了制作成本,提高了生产效率和产品良率,这使得激光器在性能上得到显著提升。
技术关键词
反射光栅 金属光栅 反射膜 光波导 半导体激光器技术 多层结构 芯片 反射镜 量子阱结构 反射率 良率 外延 波长 周期
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