摘要
本发明公开了一种芯片缺陷视觉检测方法、系统及储存介质,其中方法包括:获取芯片的原始图像并预处理,得到预处理后的图像;将预处理后的图像划分为多个等大的图像子块,并计算图像子块的特征向量,得到若干子块的特征向量;将若干子块的特征向量输入缺陷检测模型,得到子块类别;其中,所述缺陷检测模型基于深度学习算法构建,所述子块类别包括正常类别与缺陷类别。本发明涉及视觉检测技术领域,解决了传统检测方法容易产生小缺陷漏检的技术问题。
技术关键词
缺陷视觉检测方法
芯片
深度学习算法
图像
缺陷类别
预训练模型
缺陷视觉检测系统
灰度方差
编码器
统计特征
数据
视觉检测技术
标签
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直方图均衡化
指标
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介质
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