一种芯片缺陷视觉检测方法、系统及储存介质

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一种芯片缺陷视觉检测方法、系统及储存介质
申请号:CN202510722396
申请日期:2025-05-30
公开号:CN120635008A
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种芯片缺陷视觉检测方法、系统及储存介质,其中方法包括:获取芯片的原始图像并预处理,得到预处理后的图像;将预处理后的图像划分为多个等大的图像子块,并计算图像子块的特征向量,得到若干子块的特征向量;将若干子块的特征向量输入缺陷检测模型,得到子块类别;其中,所述缺陷检测模型基于深度学习算法构建,所述子块类别包括正常类别与缺陷类别。本发明涉及视觉检测技术领域,解决了传统检测方法容易产生小缺陷漏检的技术问题。
技术关键词
缺陷视觉检测方法 芯片 深度学习算法 图像 缺陷类别 预训练模型 缺陷视觉检测系统 灰度方差 编码器 统计特征 数据 视觉检测技术 标签 解码器架构 直方图均衡化 指标 预测类别 介质 像素 分支
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